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지적재산권(목록)
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번호
명칭
등록번호
출원인
등록일
비고
3
정밀노즐 세척장치
10-2019-0058829
이해찬
등록중
2
디지털원격제어가 가능한 초음파 발진기를 가지는 반도체설비 세척시스템
10-0746605
고도기연 디지털원격제어가 가능한
2007.07.31
1
렌즈 파티클 제거장치
101554724
고도기연
2015.09.15
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